Nítríd sileacain i leathsheoltóirí

Thuaidhítríd sileacain ( $S{i}_3{Thuaidh}_4$ ) is ábhar é a raibh ról lárnach aige i ndul chun cinn na teicneolaíochta leathsheoltóra. Cé go mbíonn dé -ocsaíd sileacain faoi scáth sileacain go minic ( $Si{O}_2$ ), Fágann a airíonna uathúla go bhfuil sé fíor -riachtanach le haghaidh feidhmeanna éagsúla, ó chomhpháirteanna feistí éighníomhacha go heilimintí gníomhacha trasraitheora.

Airíonna uathúla nítríd sileacain

Tá meascán de airíonna ag silicon nítríd a fhágann gur rogha níos fearr é d'iarratais leathsheoltóra ar leith:

• Tairiseach tréleictreach ard ( $K$ ): I gcomparáid le $Si{O}_2$ (le a $K$ de thart ar 3.9), $S{i}_3{Thuaidh}_4$ tá tairiseach tréleictreach níos airde aige (idir 7.5 go 8 de ghnáth). Ceadaíonn an mhaoin seo níos mó muirir a stóráil i limistéar ar leith, rud atá ríthábhachtach chun méid na dtoilleoirí agus na gceall cuimhne a laghdú. I gcuimhne dinimiciúil rochtana risamach (DRAM), mar shampla, níos airde $K$ ábhar mar $S{i}_3{Thuaidh}_4$ Cabhraíonn sé le toilleas leordhóthanach a choinneáil de réir mar a laghdaíonn toisí cille, rud a chuireann cosc ​​ar chaillteanas sonraí.

• Bacainn idirleata den scoth: Ceann de na feidhmeanna is tábhachtaí de $S{i}_3{Thuaidh}_4$ I ndéantúsaíocht leathsheoltóra tá a chumas chun gníomhú mar bhac an -éifeachtach i gcoinne idirleathadh adamh, go háirithe móilíní uisce agus ian alcaile cosúil le sóidiam. Fágann an mhaoin seo gur ábhar idéalach é do Sraitheanna Passivation and scannáin chuimsithe , na réimsí gníomhacha íogair de shliseanna a chosaint ó éilliú comhshaoil ​​a d'fhéadfadh feidhmíocht agus iontaofacht feiste a dhíghrádú.

• Cruas meicniúil ard: Fágann cruas bunúsach agus neart meicniúil an ábhair go bhfuil sé oiriúnach le húsáid mar maisc chrua i bpróisis liteagrafaíochta agus eitseáil. Murab ionann agus ábhair níos boige, $S{i}_3{Thuaidh}_4$ Is féidir é a sheasamh le heitseáil plasma ionsaitheach a sheasamh, ag ligean do phatrúin chasta a aistriú go beacht ar shraitheanna bunúsacha le creimeadh íosta. Tá sé seo thar a bheith tábhachtach chun struchtúir ard-chóimheasa a dhéanamh.

• Comhéifeacht um Leathnú Teirmeach Íseal: Comhéifeacht leathnú teirmeach $S{i}_3{Thuaidh}_4$ tá sé sách íseal agus tá sé comhoiriúnach go dlúth le sileacain. Laghdaíonn an cosúlacht seo strus meicniúil ar an bhfeiste le linn timthriallta teirmeacha, mar shampla iad siúd a bhíonn le linn céimeanna próiseála mar anáil agus sil -leagan. Cuidíonn strus laghdaithe le cosc ​​a chur ar scoilteadh agus ar dhí -mhaolú, toradh foriomlán na bhfeistí agus fad saoil a fheabhsú.

Príomhiarratais i bhfeistí leathsheoltóra

Fostaítear nítríd sileacain i réimse róil chriticiúla laistigh de shlis leathsheoltóra:

• Spacer tréleictreach: I monarú FIThuaidhFETS agus Ard -Ailtireachtaí Trasraitheora eile, $S{i}_3{Thuaidh}_4$ úsáidtear é mar ábhar spacer. Déanann na spásálaithe seo an geata a leithlisiú go leictreach ó na críochfoirt foinse agus draein, feidhm ríthábhachtach chun ciorcaid ghearra a chosc agus chun fad an chainéil a rialú.

• Geata Dielectric: In ainneoin go $Si{O}_2$ is é an caighdeán é do thrascóirí traidisiúnta MOS, $S{i}_3{Thuaidh}_4$ Is féidir é a úsáid i stacanna tréleictreach geata chun toilleas níos airde agus sruthanna sceite níos ísle a bhaint amach. Tá sé seo thar a bheith ábhartha i dteicneolaíochtaí cuimhne neamh-so-ghalaithe, amhail cuimhne flash geata ar snámh, áit ar féidir leis a bheith mar chiseal gafa muirir nó mar chuid de chairn tréleictreach geata ilchisealach (m.sh., $Ono$ StacK: $Si{O}_2$ / $S{i}_3{Thuaidh}_4$ / $Si{O}_2$ ).

• Éighníomhach agus cuimsiú: Mar chiseal cosanta deiridh, scannán de $S{i}_3{Thuaidh}_4$ Is féidir é a thaisceadh thar dhromchla na sliseanna ar fad. Seo ciseal éighníomhach Sciathann sé na ciorcaid chomhtháite ó thaise, ó cheimiceáin, agus ó dhamáiste meicniúil, rud a chuireann go mór le hiontaofacht fhadtéarmach na feiste.

• Dielectric Interlayer (ILD): I roinnt iarratas, $S{i}_3{Thuaidh}_4$ Úsáidtear é i sraitheanna tréleictreach idir-mhiotail chun idirnaisc éagsúla seoltaí a dheighilt. Cuireann a airíonna ard -dlúis agus bacainní cosc ​​ar idirleathadh adaimh miotail (cosúil le copar) isteach sa tréleictreach máguaird, ar meicníocht theip choitinn é in idirnaisc ardleibhéil.

Ról ceirmeach nítríde sileacain

Is fiú a thabhairt faoi deara freisin na feidhmchláir níos leithne a bhaineann le nítríd sileacain thar sil-leagan tanaí-scannáin ar shliocht. Ard-íonacht Ceirmeach nítríde sileacain Úsáidtear é chun comhpháirteanna a chruthú do threalamh déantúsaíochta leathsheoltóra féin. Mar gheall ar a chruas eisceachtúil, a fhriotaíocht turraing teirmeach, agus a thátaí ceimiceacha tá sé oiriúnach do chodanna cosúil le huirlisí láimhseála sliseog, feadáin foirnéise, agus daingneáin éagsúla a oibríonn i dtimpeallachtaí géara, ardteochta. Cuireann an ról dé seo - mar ábhar ar an tslis agus san innealra a dhéanann an tslis - a thábhacht don tionscal ar fad.

Mar fhocal scoir, tá meascán uathúil na n -airíonna leictreacha, meicniúla agus ceimiceacha de chuid Silicon Nitride tar éis a áit a dhaingniú mar ábhar criticiúil i monarú leathsheoltóra nua -aimseartha. A chumas fónamh mar bhac éifeachtach idirleata, ard- $k$ Cinntíonn tréleictreach, agus masc crua atá láidir go meicniúil a ábharthacht leanúnach de réir mar a théann teicneolaíocht na sliseanna chun cinn go scálaí níos lú agus níos casta riamh. $ $